本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)的領(lǐng)域,尤其涉及一種運(yùn)動(dòng)平臺及加工設(shè)備。、在半導(dǎo)體技術(shù)的領(lǐng)域中,精密加工設(shè)備主要有視覺檢測設(shè)備、半導(dǎo)體晶圓檢測設(shè)備等,半導(dǎo)體行業(yè)不斷發(fā)展,對這類高精度的精密設(shè)備需求量逐年增加,對精密加工設(shè)備的精度要求越來越高。、目前,精密加工設(shè)備的運(yùn)動(dòng)平臺主要包括雙導(dǎo)軌、安裝在雙導(dǎo)軌上...